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激光器

产品特点:IXION 193 SLM激光器是一款单频全固态激光系统,应用于光学计量、193 nm步进光学校准或高功率ArF准分子的带宽控制等领域。光谱带宽接近其理论傅里叶极限。

更新时间:2024-02-20

产品型号:IXION 193 SLM

访问量:571

IXION 193 SLM激光器的详细资料:

IXION 193 SLM激光器是一款单频全固态激光系统,应用于光学计量、193 nm步进光学校准或高功率ArF准分子的带宽控制等领域。光谱带宽接近其理论傅里叶极限。

该系统的中心波长可定制,范围在185至194 nm之间,并可在订购时配置为固定波长。

另外,系统还可以集成一台绝对光谱精度为0.001 nm的高精度光谱仪。这使得对激光光谱调谐的控制具有最大的精度。

可选

  • 图形用户界面

  • LabView库

  • 精密光谱仪

  • 中心波长:185 ~ 194 nm

  • 符合CDRH的快门

IXION 193 SLM 激光器应用

  • 193 nm 计量

  • 光谱仪校准

  • 干涉度量

  • 准分子种子源

IXION 193 SLM

波长193.368 nm
平均功率10 mW
脉宽typ.8~2ns
脉冲能量1.6 µJ
重频1~15 kHz
光束质量M² < 1.6
光谱带宽< 80 MHz
光谱可调谐性> 10 pm
相干长度> 2 m
脉冲稳定性σ < 2.5 %


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